积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚间，微导纳米公布2023年报及2024年(nián)一季报。2023年(nián)全年，公司实现营业收入16.80亿元，同比增长145.39%。实现归(guī)母净利润2.70亿元，同比增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一(yī)季(jì)度，微导纳米营(yíng)业收(shōu)入达1.71亿元，同比增长125.27%；归母净利润达357.34万元，相(xiāng)比去(qù)年同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

报(bào)告(gào)期内，得益于微导(dǎo)纳米在薄膜技术领域的不断突破，以及公司在全(quán)球化发展和多元化布(bù)局(jú)上的努力，微(wēi)导纳米(mǐ)在实现产(chǎn)品工艺优(yōu)化升级的(de)同时，客户(hù)群(qún)体覆(fù)盖度也在进(jìn)一步扩大，业务呈现良好发展态势、市场(chǎng)竞争力、运营(yíng)效率持续提升，有力推动了订(dìng)单(dān)规模和经(jīng)营业绩的持续增长(zhǎng)。

坚(jiān)持ALD+CVD等镀膜平台化战积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%略，赋能多元化产(chǎn)业发展

微导纳米是一家(jiā)面向(xiàng)全球(qiú)的半导体、泛半导体高(gāo)端微纳装备(bèi)制造商。公司形(xíng)成了以原子(zi)层沉(chén)积(jī)（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等(děng)多种(zhǒng)真空薄膜技(jì)术梯次发展的技术(shù)平台体系，专注于先进微(wēi)米级、纳(nà)米级薄膜设备的(de)研(yán)发、生产与(yǔ)销售(shòu)，向下游客户提供尖端(duān)薄膜设备、配套产品及服务。

长期(qī)以来，微导纳米坚持以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜(mó)技术梯次发(fā)展(zhǎn)技术平台体系(xì)，凭借在新兴应用领域的前瞻性战略布局，微导纳(nà)米(mǐ)开发(fā)的薄膜沉积技术及设备，目(mù)前已广泛运用于(yú)半导体、光伏(fú)及新兴应(yīng)用领域，并取得亮眼表现。

在半导体领域，微导纳(nà)米(mǐ)构(gòu)建了以ALD为(wèi)核心，CVD等多种真(zhēn)空薄膜技术(shù)梯次发展技术平台体系，公司(sī)半导体集成电路产品(pǐn)涵盖逻辑、存储(chǔ)、化合物(wù)半导体、新型(xíng)显示(shì)等(děng)诸多细(xì)分应用领域。在光伏领域，公司ALD设备(bèi)的(de)市场占有率保持领先，实(shí)现了对TOPCon产线(xiàn)真空类设备的全(quán)覆盖，并(bìng)在XBC、HJT、钙钛(tài)矿、钙钛(tài)矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局(jú)和出货(huò)。在新兴(xīng)应用领域(yù)，2023年，微导纳米(mǐ)已在光学、柔性电子、车规级芯片等几(jǐ)个极具市场潜力的薄膜沉积(jī)技术应用前(qián)沿领(lǐng)域开始获(积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%huò)得客户订单。

得益于ALD+CVD等镀膜平台化战略，微导(dǎo)纳米2023年成绩亮眼。业(yè)绩报告显示，2023年，公司新增(zēng)订(dìng)单总额约64.69亿元(yuán)，是去年(nián)同期新增订单的2.96倍。截止至2024年3月31日，公司在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手订单70.26亿元，半导体(tǐ)在手订单11.15亿元，产业化中心(xīn)新兴应用领域在手订单(dān)0.50亿元。

下游业务(wù)迎来突破性发展，微导纳米(mǐ)积极开拓新兴市场应用

在半导体领域，微导(dǎo)纳米是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉积(ALD)设备(bèi)应用(yòng)于集(jí)成电路制(zhì)造前道(dào)生产线的国产设(shè)备(bèi)厂商。同时(shí)，2023年7月(yuè)，微导纳(nà)米首台半导体CVD薄膜(mó)沉积(jī)设备顺利发货(huò)至客(kè)户(hù)端，旨在通过差异化策略(lüè)开发出市场亟需的CVD领域高(gāo)端设备，解决(jué)关键工艺(yì)的市场空(kōng)白。

根据(jù)SEMI行(xíng)业统计，ALD约占半导体镀膜板块的11%~13%市场份额，未来几年将保持高速增长，复合增长率高达26.3%；CVD约占半(bàn)导体镀膜板块的57%市(shì)场份额，未来几年的复合增长率约为8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术、柱状电(diàn)容器、金(jīn)属化薄膜沉积技术及高(gāo)深宽比3D DRAM、TSV技(jì)术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜(mó)材料。

在(zài)光伏领域，2023年11月，微(wēi)导纳米(mǐ)自主研发的(de)钙钛矿晶硅叠层电池专用ALD量产设备，顺利(lì)发至海外客户。2024年3月，微导纳米成功研发出首台适(shì)用于大面积百兆瓦钙钛矿电(diàn)池生产的专用量产型(xíng)原子(zi)层沉积(ALD)设备，并已顺利(lì)发货(huò)至业内领军企业。

值得一提(tí)的是，报告期内，微导(dǎo)纳米(mǐ)新(xīn)增立项多项新兴产业应用项目，分布(bù)于柔性镀膜、芯片封装、光(guāng)学超低减反膜(mó)沉积、新能(néng)源等(děng)细(xì)分应用领(lǐng)域镀膜环节。截至目前，微导纳米自主研发的柔性电子二代机、应用于(yú)车规级芯片ALD设备以及首台光学领域镀膜(mó)设备已顺利发(fā)货，其中车规级(jí)芯片ALD设备出(chū)口(kǒu)海外。2024年1月，微(wēi)导纳米创新研发的ALD量产设备顺(shùn)利发往欧洲某头(tóu)部芯片封装客户，实现国产(chǎn)高端设备出口海外。

图：薄膜沉积技术在部分新(xīn)兴领域的应用场景

微导纳米在财报中表示，公司将继续依托产业化(huà)应用中心持续探索尖端薄膜沉积技术在各(gè)新兴应用领域的发展机会，并(bìng)逐(zhú)步开展产品应用验证(zhèng)，持续推动新兴产业的技术进步。

持续(xù)加码技(jì)术研发，深挖薄膜沉(chén)积(jī)设备技术(shù)护(hù)城河(hé)

近年来，微(积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%wēi)导纳米以ALD技术为核心的薄膜沉积(jī)技术领域形成了多项核(hé)心技(jì)术和科技成果，并(bìng)成功将其应用于主营业务(wù)，实现了科(kē)技成果(guǒ)与(yǔ)产业的深度融合。与此(cǐ)同时，微导纳米始终(zhōng)坚持(chí)自主创新、持续加大研(yán)发投入(rù)，持续探索技术边界，积极应对市场需求(qiú)的(de)变化，不断拓宽并深化在产业前瞻领域的技术应(yīng)用，力求实(shí)现更(gèng)广(guǎng)泛的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米研发投入3.08亿元，占营(yíng)业收入比例达18.34%，其中约50%投向半(bàn)导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领(lǐng)域研发(fā)投向(xiàng)包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电(diàn)池(chí)等新一代高效电池技(jì)术等项目。研发队伍人员不断增加，研发人员达到429人，同比增长78.01%。

得益(yì)于公司对研发的重(zhòng)视及在研发投入上(shàng)的不断加(jiā)码，2023年，微导(dǎo)纳米(mǐ)新增各类专(zhuān)利申请146项，新增(zēng)专利授权35项，累计授权专利达到137项，逐步形成了薄膜沉积反应器设计技术、基(jī)于原子层沉积的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜(mó)封装(zhuāng)技术等十大核心技术。

凭借坚持执行(xíng)ALD+CVD等(děng)镀(dù)膜平(píng)台化战略，微(wēi)导纳(nà)米正(zhèng)持续在新兴领域进行前沿化开发，为公司未来发展(zhǎn)创造更多收入(rù)增长极。此(cǐ)外，在技术协同效应进一步显现下，微导(dǎo)纳米通过(guò)跨行业的业务分布(bù)，拥有了(le)较强的穿越行业周(zhōu)期的能力，公(gōng)司的抗风险能力得到进一步提升。未(wèi)来，随着其他(tā)新兴技(jì)术(shù)市场的发展，微导纳米作为平台型(xíng)的(de)关键设备供应商的优势将进一步显现。（齐和宁）

校对：苏焕文

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